蒸着とは

蒸着とは誘電体や金属等を蒸発あるいは昇華させて、素材(主にガラスやプラスチック等の基板等)の表面に付着させる方法でコーティング法の1つです。蒸着材料には様々な種類があり、応用の幅が広い点が特⻑です。電子部品や光学部品等多くの分野で活用されています。

他のコーティング法（スパッタ法など）と比べてのメリットは、蒸着材料が少量で済むため、新規蒸着材料でも初期費用が低く、開発や試作に適しています。

真空蒸着法

真空中で誘電体や金属等の蒸着材料を蒸発あるいは昇華させ、素材の表面に付着させる蒸着法です。

• 真空蒸着法
• 金属、誘電体に対応できる
• 蒸着する素材にダメージを与えにくい

等のメリットがあります。 弊社では蒸発源に電子ビーム(EB)、抵抗加熱を用いています。



プラズマアシスト法

プラズマ銃によりチャンバー内に高密度プラズマを照射させる蒸着法です。蒸着材料と導入ガス(酸素、窒素等)がイオン化され、反応が促進されます。

また自己バイアス電位により、イオン化された原子や分子が素材に引き付けられます。

• 密着性が高い
• 充填密度が高い
• 屈折率分布が良いため大型素材への蒸着に適している

等のメリットがあります。



イオンアシスト法

イオン銃によりチャンバー内にイオンを照射させる蒸着法です。照射されたガス分子により蒸着材料の運動エネルギーを高めます。

• 密着性が高い
• 充填密度が高い
• 屈折率の再現性が良い

等のメリットがあります。