EQUIPMENT
主要設備
| 装置 | サイズ(チャンバー径） | 台数 |
|---|---|---|
| 真空薄膜装置 | Φ800 金属膜用 | 1 |
| 真空薄膜装置 | Φ900 | 1 |
| 真空薄膜装置 | Φ900 金属膜用 | 2 |
| 真空薄膜装置 | Φ1300Φ1100 | 1 |
| 真空薄膜装置 | Φ1300 | 1 |
| プラズマアシスト装置＊1 | Φ1300 | 2 |
| イオンアシスト装置＊2 | Φ1300 | 1 |
| イオンアシスト装置 | Φ1300 | 2 |
| 装置名 | サイズ（層数） | 台数 |
|---|---|---|
| 超音波洗浄機 | 全自動6槽式 | 1 |
| 超音波洗浄機 | 手動11槽式（熱風乾燥機付） | 1 |
EQUIPMENT
| 装置 | サイズ(チャンバー径） | 台数 |
|---|---|---|
| 真空薄膜装置 | Φ800 金属膜用 | 1 |
| 真空薄膜装置 | Φ900 | 1 |
| 真空薄膜装置 | Φ900 金属膜用 | 2 |
| 真空薄膜装置 | Φ1300Φ1100 | 1 |
| 真空薄膜装置 | Φ1300 | 1 |
| プラズマアシスト装置＊1 | Φ1300 | 2 |
| イオンアシスト装置＊2 | Φ1300 | 1 |
| イオンアシスト装置 | Φ1300 | 2 |
| 装置名 | サイズ（層数） | 台数 |
|---|---|---|
| 超音波洗浄機 | 全自動6槽式 | 1 |
| 超音波洗浄機 | 手動11槽式（熱風乾燥機付） | 1 |
