レーザー損傷試験

レーザー損傷の原因

従来の方法で製造された光学素子は、複数の隠れた層で構成されています。この素子が強いレーザー照射を受けると、各は異なる物理的メカニズム（損傷状態）によって損傷する可能性があります。

各種レーザー損傷試験

ISO 1on1テスト

1on1テストは、「非疲労型」のLIDT判定を行うための比較的簡単な手法です。

原理：光学部品表面のすべての部位に1つのレーザーパルスが照射される。LIDTは、適切なモデルを用いて、損傷確率統計とパルスエネルギーとの関係をフィッティングすることにより推定される。

このテストは、以下の場合にお使いください。

• 光学系製造（研磨、コーティング）の最適化。
• 基本的な材料特製の調査。
• 明確な欠陥の特定。
• 迅速なフィードバックとサンプルの相対的な比較。

ISO S-on-1テスト

S-on-1テストは、最も一般的なLIDTテストです。光学系の経年劣化（疲労）効果を考慮したマルチパルス方式です。

原理: 光学部品表面のテスト部位は、繰り返しパルス(指定のパルス数で固定)を照射しています。
(S)繰り返しパルス数。LIDTは、入射レーザーパルスの関数としてされ表記される。

このテストは、以下の場合にお使いください

• レーザー光学素子のLIDTの特性を正確に把握することができる
• 光学素子の老化現象について知ることができる。
• 繰り返し周波数の影響を考慮する。
• 高照射量の結果を推定する (場合により利用可能)。

ISO Pass/Fail (ダメージ評価) テスト

Pass/Failテストは、あらかじめ定義されたレーザーフルエンスで、光学素子の良し悪しを分離するように設計されています。

原理 : 一定のフルエンスで複数のレーザーパルスを1つまたは複数のテスト部位に照射する。

損傷がない場合、光学部品はその後使用することができる。そうでなければ、その部品は仕様を満たさず、使用することはできません。

このテストは、以下の場合にお使いください

• オプティクスの品質を日々モニターする。
• 重要な用途に使用する前に、購入したオプティクスの品質を確認する。
• 光学素子が条件を満たしているかどうか検査する。

R-on-1 (ランプ)テスト

R-on-1は非標準的なテストです。表面限定サンプル (ファイバーや小さな結晶など) のLIDTに関する大まか な情報を提供するものです。

原理 : 試験面は各照射部位に分けられる (S-on-1の場合よりかなり少ない)。

各照射部位は、一定のフルエンスでパルス (例えば1000個) のバーストで照射されます。各照射部位では、損傷に達するまでパルスエネルギーが絶えず増加(ランプ)されます。

このテストは、以下の場合にお使いください

• 限られた試験面のサンプル (S-on-1テストが利用できない場合)
• 生産工程やベンダーを相対的に比較する。
• コンディショニング (光吸収や未知のタイプの欠陥低減の観点で) を調査する。

注意: 材料との連続的なレーザー相互作用は、コンディショニング効果を引き起こす可能性があります。したがって、R-on-1のLIDTはS-on-1の結果と比較すると、過大評価される可能性があります。

ラスタースキャンテスト

ラスタースキャン技術は、S-on-1テストでは見逃してしまうような、非常にまれな欠陥の検出に役立ちます。

原理: サブアパーチャーマルチパルスラスタースキャンにより、サンプルが耐えうるフルエンスを調べます。サンプル上の指定エリアは、レーザービームの直径に併せたサイトに分割されます。各サイトは、対象となるフルエンス値において選択された数のパルスで照射されます

このテストは、以下の場合にお使いください

• 最悪の事態を想定したシナリオ
• 欠陥密度の小さい光学部品 (例:高精度研磨品)
• 大型の光学素子

注意: ラスタースキャンの適用方法には、さまざまなものがあります。ご注文の前にプロバイダーにご相談ください。

カスタムLIDTテスト

カスタムLIDTテストは、特定のケースにおいてLIDTに関する情報を最大限に提供することです。

原則: お客様と相談しながら測定方法を決定します。標準的な試験方法は、特定の要件を満たすように調整されます。

このテストは、以下の場合にお使いください

• 入射パルス数が非常に多く (1サイトあたり 1000パルス以上) レーザーテスト径も非常に大きいか小さい (マイクロフォーカス)、といったカスタム照射条件です
• カスタム露光アルゴリズム
• カスタムテストサイトのレイアウト
• カスタムダメージの解釈
• カスタム分析です。

注意: カスタムテストはより高価で、リードタイムが長くなります。すべてのカスタムテストが標準テストと比較できるわけではありません。

レーザー損傷試験のご依頼方法

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