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365nm 405nm 436nm AR 水銀灯(i,h,g線対応)

g線…436nm、h線…405nm、i線…365nmに対応し、超高圧水銀灯の環境下において、耐久性に優れた反射防止膜コート品の成膜実績です。

使用用途

半導体製造装置、露光装置用レンズ、ウインドウ

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