蒸着の仕組みについて
蒸着とは
成膜したい材料（蒸着材料）を蒸発あるいは昇華させて、被蒸着材料（主に硝子やプラスチック等の基板）に堆積させる加工方法の一つです。
加熱方法として、蒸着材料を蒸発あるいは昇華させる手法としては電子ビームや抵抗加熱が使用されます。
蒸着材料に関しまして、低融点の素材から、融点が2000℃以上の物質であっても蒸着するは可能です。
また層数に関しは、単層から100層以上に成膜した製品の製造が可能です。
成膜する際には通常、真空容器にて10-3～10-4Pa程度の真空度にて蒸着されます。
真空にて蒸着する理由は、蒸着材料が大気中の気体分子に阻害されることを防ぐためと、蒸着材料の蒸発温度を下げ、蒸着そのものを容易にするためであります。
他のコーティング法（スパッタ法など）と比べてのメリットは、蒸着材料が少量ですむため、新規蒸着材料でも初期費用が低く、開発や試作に適しています。
