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超高圧水銀灯（g/h/i-line）対応ARコート
g線…365nm、h線…405nm、i線…436nm）に対応し、超高圧水銀灯の環境下において、耐久性に優れた反射防止膜コート品の製作実績です。
使用用途
半導体製造装置、露光装置用レンズ、ウインドウ