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半導体製造装置用光学部品

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半導体製造装置用光学部品

半導体製造装置用光学部品に使用する事が出来るコーティング製品群です。

780nmPBS

無偏光ビームスプリッター（ハイブリッドタイプ）

365nmHR

超高圧水銀灯（g/h/ｉ-line）対応AL増反射ミラー

超高圧水銀灯（g/h/i-line）対応ARコート

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