製造設備/蒸着機

 
装置名サイズ(チャンバー径)台数
真空薄膜装置Φ8003
真空薄膜装置Φ800 金属膜用1
真空薄膜装置Φ9002
真空薄膜装置Φ11001
真空薄膜装置Φ13001
イオンプレーティング装置Φ9003
プラズマアシスト装置Φ13002
pad-m.JPG
プラズマアシスト装置
rf-m.jpg
イオンプレーティング装置